Резидент Технопарка «ЭЛМА» представит на ВТЭ-2017 новые установки для плазмохимии и напыления

Резидент Технопарка «ЭЛМА» представит на ВТЭ-2017 новые установки для плазмохимии и напыления

Оборудование Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции — с 11 по 13 апреля будет представлено на 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо»-2017, стенд А225. Мы представим новинки: плазмохимическую установку НИКА-2014 ПХТ,  установку магнетронного напыления  НИКА-13 ПР-С, цифровые вакуумные датчики ВТРЦ-ДТВ01 и ВТРЦ-ПМТ, ВМЦ, прочее.

НИКА-2013 - полноценная промышленная машина с большой загрузкой, сухой откачкой, быстрой перезагрузкой.
Назначение:  напыление резистивных слоев, ионная очистка и травление; нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде. Для нанесения слоёв сложного состава.
Состав: Камера Ø700х500 мм, до 4 магнетронов, нагреватель, ионный источник. Возможность установки дополнительного оборудования.
Загрузка: 136 подложек 60х48 или 48 круглых подложек Ø100.
3 модификации: резистивные слои РС, проводящие слои ПС (напыление),  магнетронное осаждение/травление МО/МТ (плазмохимия).

НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения в среде высокоплотной плазмы. Применима при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике. Состав: камера Ø350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).
Цифровые низковакуумные и высоковакуумные датчики собственного производства (Beams&Plasmas) с улучшенными характеристиками используются для замены вакуумметров типа Мерадат, 13ВТ-003 и ВМБ-8 (ВМБ-14) и ламп ПММ-32-1, ПМТ-6. Вакуумметры Beams&Plasmas устраняют наводки на аналоговые цепи, отличаются высокой точностью измерений.

«Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas, Зеленоград) — российская компания — производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Модернизация любого вакуумного оборудования и его создание по параметрам Заказчика.

Cтенд компании А255 можно посетить с 11 по 13 апреля 2017 года в КВЦ «Сокольники». Для бесплатного посещения выставки необходимо получить электронный билет. http://www.vacuumtechexpo.com/ru-RU/home/visitors/e-ticket.aspx