Назад к списку
"Криоинтеграл" – Технологический и измерительный комплекс для создания сверхпроводниковых наносистем на основе новых материалов
Уникальные научные установки
Контакты
125009, г. Москва, ул. Моховая, д. 11, корп. 7
+7 (495) 629 34 18

Комплекс создан с целью интеграции и расширения функциональных возможностей использования научно-технического потенциала технологического и измерительного оборудования ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН.

Утверждены следующие основные направления научных исследований с использованием уникального оборудования: сверхпроводниковая электроника; технология новых материалов и структур для радиотехники и электроники; микро- и наноэлектроника; генерация электромагнитных колебаний; физика конденсированного состояния; биомедицинская радиоэлектроника и информатика; физика магнитных явлений и магнитоэлектроника.

Методики

Совокупность опробованных и изученных методов и приемов для выполнения научного исследования.

  • Методика изготовления однобарьерных туннельных переходов сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник.
  • Методика изготовления многослойных интегральных сверхпроводниковых микросхем.
  • Методика изготовления фотошаблона с помощью электронного микроскопа с системой электронной литографии e_LiNE производства компании Raith.
Подписаться на рассылку