Назад к списку
Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников
Центры коллективного пользования
Контакты
115409, г. Москва, Каширское ш., д. 31
+7 (495) 788 56 99 доб. 8146

Центр коллективного пользования "Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников" Национального исследовательского ядерного университета МИФИ создан с целью рационального и эффективного использования научно-исследовательского оборудования, закупаемого в рамках реализации программы развития НИЯУ МИФИ, федеральных целевых программ "Развитие инфраструктуры наноиндустрии", "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России" и из других источников. ЦКП является площадкой для отработки уникальных технологических операций формирования наногетероструктур соединений AIIIВV, нитридов III группы, дискретных приборов и СВЧ МИС на их основе.

Методики

Совокупность опробованных и изученных методов и приемов для выполнения научного исследования.

  • Спектральная эллипсометрия
  • Рентгеновская дифрактометрия
  • Профилометрия поверхности полупроводниковых структур
  • Оптическая спектроскопия (УФ – вид. диапазон) и рефлектометрия
  • ИК-Фурье спектрометрия
  • Измерение вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик полупроводниковых структур
  • Измерение электрофизических параметров полупроводниковых структур методом изучения эффекта Холла
  • Исследование S -, X - параметров приборных структур в полосе от 0,01 до 50 ГГц
  • Оптическая микроскопия
  • Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС)
  • Оже-электронная спектроскопия (ОЭС)
  • Растровая электронная микроскопия и определение локального элементного состава приповерхностных слоев методом рентгеновского энергодисперсионного микроанализа
  • Сканирующая зондовая микроскопия
  • Формирование и определение распределений нанокластеров металов по размерам и расстояниям
  • Измерение сопротивления слоев четырехзондовым методом
  • Молекулярно-лучевая эпитаксия
  • Эпитаксия из газовой фазы
Подписаться на рассылку