Назад к списку
Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов
Центры коллективного пользования
Контакты
124498, г. Зеленоград, проезд 4806, д.5
+7 (499) 720 87 65

ЦКП использует следующие методы исследования: просвечивающая (ПЭМ) и растровая (РЭМ) электронная микроскопия, фокусированный ионный пучок, оптическая микроскопия.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • исследования и диагностика наноструктурированных материалов, наноструктур и нанообъектов электронно-микроскопическими методами с разрешением вплоть до атомарного;
  • развитие методов восстановления топологии СБИС, обеспечивающих решение задачи их обратного проектирования;
  • локальная модификация СБИС и изделий микросистемной техники с применением фокусированного ионного пучка;
  • разработка метрологического обеспечения для измерения геометрических размеров и определения состава микроструктур и нанообъектов электронно-микроскопическими методами.

Расположение

Подписаться на рассылку