Назад к списку
Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов
Центры коллективного пользования
Контакты
124498, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
+7 (499) 720 87 65

ЦКП использует следующие методы исследования: просвечивающая (ПЭМ) и растровая (РЭМ) электронная микроскопия, фокусированный ионный пучок, оптическая микроскопия.

Методики

Совокупность опробованных и изученных методов и приемов для выполнения научного исследования.

  • Методика измерения геометрических размеров СБИС методами просвечивающей электронной микроскопии
  • Методика измерения геометрических размеров СБИС методами растровой электронной микроскопии
  • Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки, ГОСТ Р 8.636-2007
  • Методика измерений "Автоматизированное измерение координат нанопор в пористых структурах интегральной наноинженери"
  • Методика измерений "Автоматизированное измерение координат двумерного расположения большой совокупности эквивалентных нанообъектов на поверхности подложки"
  • Методика измерений "Измерение координат нанообъектов, образующих два периодических на массива на поверхности подложки"
  • Методика измерений "Измерение координат идентичных объектов на поверхности подложки автоматизированными методами"
  • Методика анализа структур СБИС методом послойного травления топологигических слоев