Назад к списку
Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов
Центры коллективного пользования
Контакты
124498, г. Зеленоград, проезд 4806, д.5
+7 (499) 720 87 65

ЦКП использует следующие методы исследования: просвечивающая (ПЭМ) и растровая (РЭМ) электронная микроскопия, фокусированный ионный пучок, оптическая микроскопия.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • исследования и диагностика наноструктурированных материалов, наноструктур и нанообъектов электронно-микроскопическими методами с разрешением вплоть до атомарного;
  • развитие методов восстановления топологии СБИС, обеспечивающих решение задачи их обратного проектирования;
  • локальная модификация СБИС и изделий микросистемной техники с применением фокусированного ионного пучка;
  • разработка метрологического обеспечения для измерения геометрических размеров и определения состава микроструктур и нанообъектов электронно-микроскопическими методами.

Методики

Совокупность опробованных и изученных методов и приемов для выполнения научного исследования.

  • Методика измерения геометрических размеров СБИС методами просвечивающей электронной микроскопии
  • Методика измерения геометрических размеров СБИС методами растровой электронной микроскопии
  • Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки, ГОСТ Р 8.636-2007
  • Методика измерений "Автоматизированное измерение координат нанопор в пористых структурах интегральной наноинженери"
  • Методика измерений "Автоматизированное измерение координат двумерного расположения большой совокупности эквивалентных нанообъектов на поверхности подложки"
  • Методика измерений "Измерение координат нанообъектов, образующих два периодических на массива на поверхности подложки"
  • Методика измерений "Измерение координат идентичных объектов на поверхности подложки автоматизированными методами"
  • Методика анализа структур СБИС методом послойного травления топологигических слоев
Подписаться на рассылку