Назад к списку
Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов
Контакты
124498, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
+7 (499) 720 87 65 доб. 2965

ЦКП использует следующие методы исследования: просвечивающая (ПЭМ) и растровая (РЭМ) электронная микроскопия, фокусированный ионный пучок, оптическая микроскопия.

Направления научной деятельности

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП.

  • Исследования и диагностика наноструктурированных материалов, наноструктур и нанообъектов электронномикроскопическими методами с разрешением вплоть до атомарного
  • Развитие методов восстановления топологии СБИС, обеспечивающих решение задачи их обратного проектирования
  • Локальная модификация СБИС и изделий микросистемной техники с применением фокусированного ионного пучка
  • Разработка метрологического обеспечения для измерения геометрических размеров и определения состава микроструктур и нанообъектов электронномикроскопическими методами.