Нанодиагностика и метрологическое обеспечение наукоемких технологий
Контакты
119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
+7 (495) 935 97 77

Тематика научных исследований ЦКП НИЦПВ: фундаментальные и прикладные проблемно-ориентированные исследования особенностей взаимодействия измерительных зондов, пучков заряженных частиц, рентгеновского и оптического излучений с наноструктурированными объектами; разработка и создание методов и средств обеспечения единства измерений в нанотехнологиях, стандартизированных методик измерений и калибровки (поверки), стандартных образцов состава, структуры, размера и свойств; исследования способов повышения достоверности и точности измерений в нанотехнологиях.

Оборудование

Автоматизированный интерференционный микропрофилометр АИМ (ВНИИОФИ)
Автоматизированный интерференционный микропрофилометр АИМ (ВНИИОФИ)
Автоматизированный интерференционный микропрофилометр АИМ (ВНИИОФИ)
Автоматизированный интерференционный микропрофилометр АИМ (ВНИИОФИ)
Назначение:
Измерение микрорельефа поверхности отражающих объектов, толщины тонких пленок, параметров шероховатости. Применяется в материаловедении, микроэлектронике.
Активно-виброизоляционный стенд для оптикомеханических и зондовых измерений
Активно-виброизоляционный стенд для оптикомеханических и зондовых измерений
Активно-виброизоляционный стенд для оптикомеханических и зондовых измерений
Активно-виброизоляционный стенд для оптикомеханических и зондовых измерений
Назначение:
Аппаратура общего назначения для определения основных параметров вибрационных процессов
Дифрактометр высокого разрешения D8 DISCOVERY (Bruker)
Дифрактометр высокого разрешения D8 DISCOVERY (Bruker)
Дифрактометр высокого разрешения D8 DISCOVERY (Bruker)
Дифрактометр высокого разрешения D8 DISCOVERY (Bruker)
Назначение:
Исследование кристаллической структуры твердотельных материалов. Определение качественного и количественного фазового состава и структуры твердых тел, параметров элементарной ячейки, микронапряжений в кристаллах. Рентгеноструктурный анализ кристаллических порошков. Возможность работы в режиме рефлектометра.
Инфракрасный Фурье-спектрометр Tensor 37 (Bruker)
Инфракрасный Фурье-спектрометр Tensor 37 (Bruker)
Инфракрасный Фурье-спектрометр Tensor 37 (Bruker)
Инфракрасный Фурье-спектрометр Tensor 37 (Bruker)
Назначение:
Качественный и количественный анализ химического состава твердых и жидких тел, их идентификация, контроль концентрации О и С в Si пластинах, контроль качества лекарственных форм и сырья, криминалистический и биоклинический анализ. Использование ИК-микроскопа HYPERION позволяет довести локальность анализа до 10 мкм. Дополнительные возможности: анализ методом нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО).
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Назначение:
Инструменты для измерения длины и угла
Модуль оптической профилометрии MicroXAM-100 (KLA-Tencor Corp.)
Модуль оптической профилометрии MicroXAM-100 (KLA-Tencor Corp.)
Модуль оптической профилометрии MicroXAM-100 (KLA-Tencor Corp.)
Модуль оптической профилометрии MicroXAM-100 (KLA-Tencor Corp.)
Назначение:
Предназначен для измерения неровностей поверхности оптическим методом. Для оценки неровности поверхности часто используют специальный показатель - шероховатость поверхности. Содержит шкалу, на которой и отсчитываются значения показателя шероховатости поверхности.
Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 (JEOL)
Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 (JEOL)
Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 (JEOL)
Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 (JEOL)
Назначение:
Анализ микро- и наноструктуры твердотельных объектов, измерение линейных размеров деталей структуры, наблюдаемых на изображении, и межплоскостных расстояний в режиме дифракции. Применяется в материаловедении, микроэлектронике, геологии, биологии, металлургии и других отраслях науки и техники.
Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30 (ФГУП ВНИИОФИ)
Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30 (ФГУП ВНИИОФИ)
Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30 (ФГУП ВНИИОФИ)
Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30 (ФГУП ВНИИОФИ)
Назначение:
Бесконтактные измерения различных глубин с использованием набора компактных оптических датчиков
Рамановский спектрометр высокого разрешения MICRO-S-RAMAN (Spectroscopy)
Рамановский спектрометр высокого разрешения MICRO-S-RAMAN (Spectroscopy)
Рамановский спектрометр высокого разрешения MICRO-S-RAMAN (Spectroscopy)
Рамановский спектрометр высокого разрешения MICRO-S-RAMAN (Spectroscopy)
Назначение:
Анализ химического строения твердых и жидких тел, механических напряжений в полупроводниках, характеризация углеродных нанотрубок. Применяется в полупроводниковой, химической, фармацевтической отраслях промышленности, при исследовании полимеров.
Растровый электронный микроскоп JSM-6460LV (JEOL) с приставкой рентгеновского микроанализа INCAx-sight, приставкой регистрации спектров микро-катодолюминес-ценции MonoCL3 и приставкой регистрации дифракции обратно-рассеянных электронов
Растровый электронный микроскоп JSM-6460LV (JEOL) с приставкой рентгеновского микроанализа INCAx-sight, приставкой регистрации спектров микро-катодолюминес-ценции MonoCL3 и приставкой регистрации дифракции обратно-рассеянных электронов
Растровый электронный микроскоп JSM-6460LV (JEOL) с приставкой рентгеновского микроанализа INCAx-sight, приставкой регистрации спектров микро-катодолюминес-ценции MonoCL3 и приставкой регистрации дифракции обратно-рассеянных электронов
Растровый электронный микроскоп JSM-6460LV (JEOL) с приставкой рентгеновского микроанализа INCAx-sight, приставкой регистрации спектров микро-катодолюминес-ценции MonoCL3 и приставкой регистрации дифракции обратно-рассеянных электронов
Назначение:
Количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, элементный анализ от В до U с чувствительностью порядка 0,1 %, исследование спектров микрокатодолюминесцнции в диапазоне 300-900 нм с пространственным разрешением порядка 1 мкм в диапазоне температур 78 -300 К. Исследование дифракции обратно-рассеянных электронов для определения кристаллической структуры изучаемых объектов с локальностью несколько микрометров.
Растровый электронный микроскоп Quanta 200 (FEI Company)
Растровый электронный микроскоп Quanta 200 (FEI Company)
Растровый электронный микроскоп Quanta 200 (FEI Company)
Растровый электронный микроскоп Quanta 200 (FEI Company)
Назначение:
Предназначен для измерения линейных размеров нанообъектов, элементного состава поверхности и спектров катодолюминесценции. Возможность измерения в высоком (10-5 Торр) и низком (до 1 Торр, для измерения диэлектрических образцов) вакууме. Регистрация истинно-вторичных и упруго-отраженных электронов.Диапазон ускоряющих напряжений 100 В – 30 кВ. Эффективный диаметр электронного зонда, согласно ГОСТ Р 8.636-2007: 30 нм. Приставка для изучения катодолюминесценции (Gatan) в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм при температуре образца от 80 К. Приставка для рентгеновского микроанализа (EDAX): энергодисперсионный и волновой спектрометры. Приставка для исследования дифракции обратно-рассеянных электронов.
Растровый электронный микроскоп S-4800 FE-SEM  (HITACHI)
Растровый электронный микроскоп S-4800 FE-SEM (HITACHI)
Растровый электронный микроскоп S-4800 FE-SEM  (HITACHI)
Растровый электронный микроскоп S-4800 FE-SEM (HITACHI)
Назначение:
Предназначен для биомедицинских исследований и включающий комплексные методы оптической микроскопии для наблюдения за живыми системами, неорганическими, органическими и наноматериалами.
Сверхвысоковакуумный нанотехнический СЗМ-комплекс Nanofab-100 (НТ-МДТ)
Сверхвысоковакуумный нанотехнический СЗМ-комплекс Nanofab-100 (НТ-МДТ)
Сверхвысоковакуумный нанотехнический СЗМ-комплекс Nanofab-100 (НТ-МДТ)
Сверхвысоковакуумный нанотехнический СЗМ-комплекс Nanofab-100 (НТ-МДТ)
Назначение:
Предназначен для исследования геометрических параметров и физико-химических свойств микро и нанообъектов на поверхности различных образцов (включая полупроводниковые пластины диаметром до 100 мм) методами сканирующей зондовой микроскопии в условиях сверхвысокого вакуума. Определяющая область применения - микро- и наноэлектроника (в том числе и в производственных условиях). Давление остаточной атмосферы в СЗМ камере- 5*10-8 Па, объем СЗМ-камеры -21 л,- возможность работы в АСМ и СТМ режимах, замена иглы сканирования без напуска атмосферы,- автоматическое позиционирование образцов в диапазоне 100*100 мм:- размер образцов – не более 100*15 мм,- диапазоны сканирования иглы – 3*3*2.6 мкм и 80*80*10 мкм,- разрешение в плоскости ХУ –не более 0,15 нм, в плоскости Z -0,1 нм,- возможность отжига образцов в вакууме.
Система лазерная измерительная ЛИС-01М
Система лазерная измерительная ЛИС-01М
Система лазерная измерительная ЛИС-01М
Система лазерная измерительная ЛИС-01М
Назначение:
Предназначена для поверки и калибровки высокоточных средств измерений линейных перемещений и систем прецизионного позиционирования и сканирования, емкостных и индуктивных измерительных преобразователей, тензодатчиков, лазерных измерителей наноперемещений, первичных преобразователей акустико-эмиссионных систем неразрушающего контроля.Область применения: органы метрологической службы, испытательные и научно-производственные лаборатории.
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER P47H (НТ-МДТ)
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER P47H (НТ-МДТ)
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER P47H (НТ-МДТ)
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER P47H (НТ-МДТ)
Назначение:
Исследование физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии. Точность измерения перемещения (система сканирования) по вертикали 0,1 нм, в латеральном направлении – 1 нм.
Сканирующий зондовый микроскоп Интегра Аура (НТ-МДТ)
Сканирующий зондовый микроскоп Интегра Аура (НТ-МДТ)
Сканирующий зондовый микроскоп Интегра Аура (НТ-МДТ)
Сканирующий зондовый микроскоп Интегра Аура (НТ-МДТ)
Назначение:
Интеграция методик атомно-силовой микроскопии (АСМ) с методикам спектроскопии комбинационного рассеяния. Установка предназначена для проведения исследования с нанометровым разрешением и предоставляет полную информацию о многочисленных поверхностных свойствах образца, таких как: рельеф, намагниченность, электрический потенциал и работа выхода, сила трения, пьезоотклик, упругость, емкость, ток растекания и многое другое.
Спектральный эллипсометрический комплекс 'ЭЛЛИПС-1891М' (ИФП РАН)
Спектральный эллипсометрический комплекс 'ЭЛЛИПС-1891М' (ИФП РАН)
Спектральный эллипсометрический комплекс 'ЭЛЛИПС-1891М' (ИФП РАН)
Спектральный эллипсометрический комплекс 'ЭЛЛИПС-1891М' (ИФП РАН)
Назначение:
Предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов. Спектроэллипсометр отличается однозначностью вычисления эллипсометрических параметров: они измеряются в полном диапазоне их значений (Ψ - от 0 до 90 градусов; Δ - от 0 до 360 градусов) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.
Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления Q150 S_E_ES (Quorum Technologies)
Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления Q150 S_E_ES (Quorum Technologies)
Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления Q150 S_E_ES (Quorum Technologies)
Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления Q150 S_E_ES (Quorum Technologies)
Назначение:
Предназначена для нанесения покрытий из AU, Cr, AL, C с контролем толщины
Установка плазменной очистки PC-2000 (South Bay Technology)
Установка плазменной очистки PC-2000 (South Bay Technology)
Установка плазменной очистки PC-2000 (South Bay Technology)
Установка плазменной очистки PC-2000 (South Bay Technology)
Назначение:
Предназначена для очистки поверхностей в плазме тлеющего разряда
Электронно-ионный микроскоп JIB-4500 c микроманипулятором IB-32010FPUS (JEOL)
Электронно-ионный микроскоп JIB-4500 c микроманипулятором IB-32010FPUS (JEOL)
Электронно-ионный микроскоп JIB-4500 c микроманипулятором IB-32010FPUS (JEOL)
Электронно-ионный микроскоп JIB-4500 c микроманипулятором IB-32010FPUS (JEOL)
Назначение:
Предназначен для управляемого локального травления сфокусированным ионным пучком проводящих и непроводящих объектов с заданным рисунком. В совокупности с микроманипулятором IB-32010FPUS идеально подходит для оперативной подготовки образцов из выбранной области для исследования в ПЭМ. Прибор объединяет в себе растровый электронный микроскоп и растровый ионный микроскоп и оснащен системой локального нанесения С и W из газовой фазы.